14:15 〜 14:30 [15p-D411-3] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(3)Precipitate Engineeringについて 〇井上 直久1,2 (1.東京農工大学工学院、2.大阪府大放射線センタ-)
14:30 〜 14:45 [15p-D411-4] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(16)as-grown結晶中の窒素 〇井上 直久1,2、川又 修一2、奥田 修一2 (1.東京農工大学工学院、2.大阪府大研究推進)
14:45 〜 15:00 [15p-D411-5] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅩ) 赤外吸収測定法規格の修正試案 〇井上 直久1,2、川又 修一2、奥田 修一2 (1.東京農工大学工学院、2.大阪府立大学)