14:30 〜 14:45 [12p-D215-3] 基板オフ角依存GaN中C濃度のステップ端偏析モデルに基づく解釈 〇望月 和浩1、堀切 文正2、太田 博1、三島 友義1 (1.法政大、2.サイオクス)