09:30 〜 09:45
〇(M1)田中 領1、田中 智之1、飯野 大輝2、栗原 一彰2、福水 裕之2、福原 成太2、林 久貴2、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大院工、2.キオクシア)
田中 領
発表者・著者、共著者
2020年3月13日(金) 09:00 〜 10:30 A205 (6-205)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2020年3月13日(金) 09:00 〜 10:30 A205 (6-205)
09:30 〜 09:45
〇(M1)田中 領1、田中 智之1、飯野 大輝2、栗原 一彰2、福水 裕之2、福原 成太2、林 久貴2、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大院工、2.キオクシア)