9:30 AM - 9:45 AM
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[13a-A205-3] On-site C2F4 generation from CF4 feedstock gas
using moderate-pressure plasma
Keywords:tetrafluoroethylene, plasma reforming, on-site
テトラフルオロエチレン(C2F4)ガスは、フルオロカーボン薄膜の成膜、ならびにSiO2に対するドライエッチング性能を高度化させる機能性ガスとして期待されている。一方で、C2F4は自己分解重合反応が爆発的に進行するため、高圧充填による使用場所への供給、ならびに大量ストックが困難である。そこで本研究では、廉価、安定、無毒なCF4ガスを中圧域プラズマによって改質し、C2F4ガスのオンサイト生成を試みた。