09:00 〜 09:15 [13a-D305-1] MBE法及びRIE法により形成したn-Ge/p-Ge(100)縦型ダイオードの電気特性 〇(M1)Saputro Hadi Rahmat1,2、松村 亮2、深田 直樹1,2 (1.筑波大数物、2.物材機構)