09:00 〜 09:15 [13a-D419-1] スパッタ成膜 Al 添加 ZnO 透明導電多結晶膜の特性に与える残留 Ar 量の影響 〇野本 淳一1、牧野 久雄2、土屋 哲男1、山本 哲也2 (1.産総研先進コーティング技術研究センター、2.高知工科大総研)