11:30 〜 11:45 [13a-D419-10] トリハライド気相成長法を用いたβ-酸化ガリウム成長 〇(D)江間 研太郎1、小川 直紀1、佐々木 公平2、倉又 朗人2、村上 尚1 (1.農工大院工、2.ノベルクリスタルテクノロジー)