10:00 〜 10:15 [14a-B401-5] GaN中への窒素によるMgのリコイルインプランテーションの試み(5) 〇山田 寿一1、山田 永1、高橋 言緒2、清水 三聡1 (1.産総研GaN-OIL、2.産総研電子光)