11:45 〜 12:00 [15a-D411-11] RF-MBEサファイア基板窒化時にPBN放電管が与える影響 〇矢島 賢一1、桑原 尚人1、山口 智広1、尾沼 猛儀1、本田 徹1 (1.工学院大)