16:45 〜 17:00 △ [15p-B508-13] 不揮発性MOS型光位相シフタに向けた強誘電性Hf0.5Zr0.5O2を用いたウェハボンディングの検討 〇渡辺 耕坪1、トープラサートポン カシディット2、関根 尚希2、高木 信一2、竹中 充2 (1.東大工、2.東京大院工)