13:45 〜 14:00 [15p-D411-1] 高濃度リンドープCZ-Si結晶中のSiP析出物形成挙動 〇仙田 剛士1、成松 真吾1、安部 吉亮1、前田 進1、松村 尚1、石川 高志1、中村 浩三2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県立大学)