[12a-D511-1~10] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[12a-D511-9] MEMS両持ち梁共振器のモード間結合と巨大な熱感度増大効果

〇近藤 諒佳¹、黒山 和幸¹、邱 博奇¹、張 亜²、長井 奈緒美¹、平川 一彦¹ (1.東大生研、2.東京農工大)

キーワード：MEMS共振器、テラヘルツ検出器、モード間結合

我々は、MEMS両持ち梁共振器のテラヘルツ（THz）検出器の研究を行っている。MEMS梁にTHz電磁波が入射し吸収されると、梁部の温度上昇が梁の熱膨張を誘起し、梁の共振周波数の変化で電磁波パワーを読み取ることができる。
MEMS梁を大振幅駆動すると、モード間結合効果が起こる。その際に、特定の熱変調周波数に対して熱感度が50倍程上昇することが確認できた。
この周波数が各結合モードの周波数に依存することが分かったので報告する。