The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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17 Nanocarbon Technology » 17 Nanocarbon Technology(Poster)

[12a-PA2-1~77] 17 Nanocarbon Technology

Thu. Mar 12, 2020 9:30 AM - 11:30 AM PA2 (PA)

9:30 AM - 11:30 AM

[12a-PA2-64] Vapor deposition growth of layered In2Se3 thin films

Kento Konno1, Takio Kizu2, Kazuhito Tsukagoshi2, Keiji Ueno1 (1.Saitama Univ., 2.NIMS)

Keywords:layered material, indium selenide, thin film

層状13族カルコゲナイドは,グラフェン類似の積層構造を持つ層状物質である。この物質群は電荷移動度や光応答などの面で優れた性質を持ち,素子応用が期待されている。本研究では三セレン化二インジウムIn2Se3の薄膜形成を,ALD In2O3膜のセレン化,化学気相成長(CVD),物理気相成長(PVD)などにより試み,得られた薄膜の評価を行った。