[12p-A205-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-A205-11] 低エネルギーイオン照射によるハロゲン化層における脱離反応

〇唐橋 一浩¹、伊藤 智子¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：原子層エッチング、低エネルギーイオン、ハロゲン