[12p-A205-1~15] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[12p-A205-3] Color changing mechanism of Plasma Indicator^® under Ar plasma

〇Ayumi Ando¹, Shota Uratani¹, Keiko Nakamura¹, Kazuhiro Uneyama¹ (1.SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION)

Keywords:argon plasma, Plasma indicator, color changing mechanism

われわれはこれまでに色の変化で簡便にプラズマを評価する新規ツールとしてプラズマインジケータ^TMを開発してきた．このインジケータはArのような不活性ガスのプラズマでも変色するが， Arプラズマに対する変色メカニズムがまだ明確ではない．本講演では有機色材であるアゾ系色素を用いたインジケータについて，Arプラズマに対する変色メカニズムの解明を試みた結果を報告する．