[12p-A205-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-A205-3] プラズマインジケータ^TMのArプラズマに対する変色メカニズム

〇安藤 あゆみ¹、浦谷 昭太¹、中村 慶子¹、釆山 和弘¹ (1.株式会社サクラクレパス)

キーワード：アルゴンプラズマ、プラズマインジケータ、変色メカニズム

われわれはこれまでに色の変化で簡便にプラズマを評価する新規ツールとしてプラズマインジケータ^TMを開発してきた．このインジケータはArのような不活性ガスのプラズマでも変色するが， Arプラズマに対する変色メカニズムがまだ明確ではない．本講演では有機色材であるアゾ系色素を用いたインジケータについて，Arプラズマに対する変色メカニズムの解明を試みた結果を報告する．