[12p-A305-1~13] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

△ [12p-A305-1] 微細ゲートオールアラウンド(GAA)シリコンナノワイヤトランジスタにおける極めて大きなランダムテレグラフノイズ(RTN)の解析

〇(M2)木村 迅利¹、水谷 朋子¹、竹内 潔¹、更屋 拓哉¹、小林 正治^2,1、平本 俊郎¹ (1.東大生研、2.東大d.lab)

キーワード：ナノワイヤ、ゲートオールアラウンド、ランダムテレグラフノイズ

ゲートオールアラウンド(GAA)構造を備えたシリコンナノワイヤトランジスタは次世代のデバイス候補として大きな注目を集めている。一方、トラップによるランダムテレグラフノイズ(RTN)は微細なトランジスタの主要な課題の一つとされている。今回、バルクトランジスタやSOIトランジスタでは見られない微細シリコンGAAナノワイヤトランジスタにおける極めて大きなランダムテレグラフノイズ(RTN)について報告する。