[12p-A305-1~13] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[12p-A305-7] 高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定

〇鈴木 勇人¹、朴 賢雨¹、寺本 章伸^2,3、黒田 理人^1,3、諏訪 智之³、須川 成利^1,3 (1.東北大院工、2.広大ナノデバイス、3.東北大NICHe)

キーワード：微小電流測定、MIM素子、TEG

簡便なプロセスにてMIM (Metal-Insulator-Metal) 素子の電流電圧特性を大規模かつ高速・高精度に計測する技術を開発した．サンプルの製造工程は全サンプル共通のプラットフォーム工程と被測定対象であるMIM素子を作製する追加工程に別れており，様々な絶縁膜のMIM素子を簡便に作製・測定することが可能である．