[12p-A403-1~15] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[12p-A403-14] Microcrystalline Distribution Analysis in Thin-Film Microcrystalline Silicon Solar Cells by Atom Probe Tomography

〇Yasuo Shimizu¹, Kenji Taki², Taiki Hashiguchi², Hirotaka Katayama², Mitsuhiro Matsumoto², Akira Terakawa², Hitoshi Sai³, Takuya Matsui³, Koji Inoue¹, Yasuyoshi Nagai¹ (1.IMR Tohoku Univ., 2.Panasonic Corp., 3.AIST)

Keywords:atom probe, microcrystalline, hydrogen

水素化非結晶シリコンは光吸収層や表面パッシベーション膜の材料として薄膜及び結晶シリコン太陽電池で幅広く活用され，その光学的・電気的な物性は結晶粒のサイズや配向性，結晶・非結晶相の分布に依存すると考えられる．従来は透過電子顕微鏡による２次元解析が主であったが，本講演では実空間上の元素分布を得る３次元アトムプローブ技術を活用して，微結晶層の水素分布の濃淡を捉えて結晶粒を描像した世界初の例を報告する．