[12p-A403-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[12p-A403-14] ３次元アトムプローブを用いた薄膜微結晶シリコン太陽電池の微結晶分布評価

〇清水 康雄¹、瀧 謙司²、橋口 大樹²、片山 博貴²、松本 光弘²、寺川 朗²、齋 均³、松井 卓矢³、井上 耕治¹、永井 康介¹ (1.東北大金研、2.パナソニック、3.産総研)

キーワード：アトムプローブ、微結晶、水素

水素化非結晶シリコンは光吸収層や表面パッシベーション膜の材料として薄膜及び結晶シリコン太陽電池で幅広く活用され，その光学的・電気的な物性は結晶粒のサイズや配向性，結晶・非結晶相の分布に依存すると考えられる．従来は透過電子顕微鏡による２次元解析が主であったが，本講演では実空間上の元素分布を得る３次元アトムプローブ技術を活用して，微結晶層の水素分布の濃淡を捉えて結晶粒を描像した世界初の例を報告する．