[12p-PA7-1~16] 12.7 医用工学・バイオチップ

[12p-PA7-4] フォトゲートを薄化したフィルタフリー蛍光センサの短波長領域における感度向上

〇(M2)手島 拓哉¹、崔 容俊¹、野田 佳子¹、神谷 幸子¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、高橋 一浩¹、石井 仁¹、野田 俊彦¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：フィルタフリー蛍光センサ、蛍光、ポリシリコン

本稿では短波長(400 nm以下)の光を弁別できるフィルタフリー蛍光センサの開発について述べる。本センサはフォトゲート構造を持ち、励起光と蛍光を同時に入射することで、それぞれの光強度を算出できる。ゲート電極に使用していたポリシリコンを300 nmから100 nmに薄くすることで、ゲート電極による短波長の光の吸収を抑えることができ、365 nmと405 nmの光の分離能力が約25倍向上した。