[13a-A205-1~6] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[13a-A205-2] DLC成膜用カーボンHiPIMSのプラズマ診断

〇太田 貴之¹、松島 丈¹、村上 祐一¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン膜、スパッタリング