[13a-D419-1~12] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[13a-D419-3] Correspondence between PL spectra and conductive properties of ZnO films - IV

〇Housei Akazawa¹ (1.NTT Device Innovation Center)

Keywords:GZO, PL, transparent conductive film

ZnO透明導電膜中の欠陥とドナーがどのような関係にあるかは、長年の課題として研究されている。我々はこれまで電気特性とPLとの関係を詳細に調べることにより、アンドープZnO膜中のドナーが何であるかを明らかにし、その結果を3回にわたり、応用物理学会で発表してきた。今回外因性ドナーであるGaをドープしたZnO膜について、アンドープZnOとの違いについて報告する。