[13p-A305-1~13] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

△ [13p-A305-13] 大面積集積化に向けたスパッタ堆積ノーマリーオフMoS₂-nMISFETs

〇松浦 賢太朗¹、濱田 昌也¹、濱田 拓也¹、谷川 晴紀¹、坂本 拓朗¹、堀 敦¹、宗田 伊理也¹、川那子 高暢¹、角嶋 邦之¹、筒井 一生¹、小椋 厚志²、若林 整¹ (1.東工大、2.明治大)

キーワード：二次元半導体、ノーマリーオフ、スパッタリング法