[13p-A305-1~13] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[13p-A305-2] [第11回シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演] 25-Gb/s × Four-Channel Chip-Scale Optical Receiver Operating at up to 85 °C with a Temperature-Compensation Function

〇岡本 大典¹、鈴木 康之¹、萩原 靖彦²、栗原 充²、中村 隆宏¹、蔵田 和彦² (1.光電子融合基盤技術研究所、2.アイオーコア)

キーワード：シリコンフォトニクス、光インターコネクション

Siフォトニクス技術を用いて，5 × 5 mm²サイズの小型光レシーバチップを作製した．この光レシーバには28-nm Si-CMOSプロセスで作製したtransimpedance amplifierを用いており，高温における特性劣化を補償する温度補償回路が搭載されている．この温度補償機能を用いて，85℃の高温環境における高感度動作と25-Gb/s × 4チャネルの高速動作を実証した．