[13p-A408-1~16] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[13p-A408-5] Study on deposition condition of Au/Ti film to improvement of output response of charge-transfer-type redox image sensor

〇(D)hideo doi¹, Tomoko Horio¹, Toshihiko Noda¹, Kazuhiro Takahashi¹, Kazuaki Sawada¹ (1.Toyohashi Univ.)

Keywords:CCD type ion image sensor, Redox, Sputtering

電荷転送型レドックスイメージセンサの出力応答の改善に向け，金/チタンの堆積方法を検討した。スパッタリングで金/チタンを堆積した結果，センサの出力ゲインが改善され出力信号の揺らぎは1-2 mV程度と従来型の蒸着膜センサの1/10程度であった。詳細は考察中であるが，反応性スパッタリングで金/チタンを堆積することにより電荷転送型レッドクスイメージセンサの出力信号の揺らぎが改善されることがわかった。