[13p-A408-1~16] 12.7 医用工学・バイオチップ

[13p-A408-5] 電荷転送型レドックスイメージセンサの出力応答改善に向けた金/チタンの堆積方法の検討

〇(D)土井 英生¹、堀尾 智子¹、野田 俊彦¹、高橋 一浩¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：電荷転送型イオンイメージセンサ、酸化還元、スパッタリング

電荷転送型レドックスイメージセンサの出力応答の改善に向け，金/チタンの堆積方法を検討した。スパッタリングで金/チタンを堆積した結果，センサの出力ゲインが改善され出力信号の揺らぎは1-2 mV程度と従来型の蒸着膜センサの1/10程度であった。詳細は考察中であるが，反応性スパッタリングで金/チタンを堆積することにより電荷転送型レッドクスイメージセンサの出力信号の揺らぎが改善されることがわかった。