2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[13p-D419-1~16] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2020年3月13日(金) 13:45 〜 18:15 D419 (11-419)

安田 隆(石巻専修大)、池之上 卓己(京大)

15:30 〜 15:45

[13p-D419-7] Epitaxial growth of bismuth oxyhalides thin films with mist CVD at atmospheric pressure

〇(DC)Zaichun Sun1、Daichi Oka1、Tomoteru Fukumura1,2 (1.Dept. Chem., Tohoku Univ.、2.AIMR and Core Research Cluster, Tohoku Univ.)

キーワード:Mist CVD, Bismuth Oxyhalides, Epitaxial thin film