4:15 PM - 4:30 PM
[13p-D419-9] Study on crystal and electronic structures of (GaxIn1-x)2O3 alloy system
Keywords:Gallium oxide, Indium oxide, Structure control
本研究では、Nb添加SrTiO3(111)基板上に非平衡薄膜合成手法を用いて(GaxIn1-x)2O3固溶体薄膜を作製し、膜内部における電気的特性の評価を行った。その結果、固溶体形成による電子物性制御の可能性を示す結果を得たので報告する。