[13p-PA8-1~20] 6.2 Carbon-based thin films

[13p-PA8-16] Electrical properties of DLC films deposited on various type of polymeric substrates

〇Ayumu Takada¹, Takahiro Suzuki¹, Syuji Obata¹, Akihiko Homma¹, Kenji Hirakuri¹, Yasuharu Ohgoe¹ (1.Tokyo Denki Univ.)

Keywords:Diamond like Carbon

ダイヤモンド状炭素(DLC：Diamond-like Carbon)膜は，物理的，化学的に安定した特性を有する．近年では，摺動性，ガスバリヤ性，生体適合性等において，DLCの成膜対象は金属材料から高分子材料まで，その用途は多岐に渡る．しかし，DLCの基板依存性については，十分な報告がなされていない．そこで本稿では，異なる高分子基板表面に，同一条件にてDLCを成膜し，電気特性の観点からDLCの基板依存性について検討した．