[14a-A305-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[14a-A305-1] ミニマルファブを活用したCMOS-MEMS融合圧力センサの開発

〇柳 永シュン¹、秋田 一平¹、松川 貴¹、田中 宏幸^1,2、古賀 和博²、根本 一正¹、クンプアン ソマワン^1,2、長尾 昌善¹、森田 行則¹、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)

キーワード：ミニマルファブ