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△ [14a-D221-6] ダイヤモンドSchottky-pnダイオードの低温における電気特性のn層膜厚依存性
キーワード:ダイヤモンド、パワーデバイス、ダイオード
ダイヤモンドを用いたパワーデバイス設計によく用いられるホッピング伝導層とバンド伝導層の接合を持ったダイヤモンドSchottky-pnダイオードを用いて、電気特性の膜厚依存性について研究した。
そして、この接合での低温領域におけるキャリア伝導機構を解明した。
そして、この接合での低温領域におけるキャリア伝導機構を解明した。