[14a-D311-1~5] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[14a-D311-3] 金ナノ粒子プラズモン活用によるSiラジカル窒化とSiON膜特性

三宅 万智子¹、桑田 渉真¹、〇北嶋 武¹、中野 俊樹¹ (1.防衛大)

キーワード：プラズマ、プラズモン、ホットエレクトロン

我々は光照射下の金ナノ粒子のプラズモンが放出する電子をプラズマ表面反応へ応用し、イオン衝撃によるプラズマ照射表面へのダメージの低減と良質な極薄膜形成への活用を図ってきた。今回、水銀プローブ測定によるDC電圧1Vでの漏れ電流と等価酸化膜厚の関係を調べた。金ナノ粒子への光照射により表面プラズモンの効果によってSi-N結合の形成が促進され膜質が大きく向上した。
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