[14a-PA4-1~5] 13.3 絶縁膜技術

[14a-PA4-2] SiO₂, Si₃N₄膜へのアルカリ金属・ハロゲンイオンの透過障壁

〇奥 友希¹、戸塚 正裕¹、佐々木 肇¹ (1.三菱電機)

キーワード：耐湿性、アルカリ金属、保護膜

本報告では、SiO₂、Si₃N₄膜へのイオン（Li ⁺、Na ⁺、K ⁺、F^-、Cl^-、Br^-）の透過障壁を計算した。その結果、Li ⁺およびNa ⁺イオンはSiO₂、Si₃N₄膜に容易に浸透し、K ⁺イオンはH₂O分子よりもSiO₂膜に浸透し易いことが分かった。これによりアルカリ金属およびハロゲンイオンの耐湿性への効果が解析できた。