[14p-A303-1~14] 【CS.4】 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

△ [14p-A303-8] ウェット熱処理によるZrO₂薄膜の特異な強誘電相発現機構

〇柴山 茂久¹、永野 丞太郎²、坂下 満男¹、中塚 理^1,3 (1.名大院工、2.名大工、3.名大未来研)

キーワード：ZrO2、強誘電体、ウェット熱処理