[14p-A305-1~14] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[14p-A305-10] Characterization of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters using Lead-Free BiFeO₃ Film under Random Oscillation

〇Shuichi Murakami¹, Takeshi Yoshimura², Yusuke Kanaoka¹, Kazuo Satoh¹, Kazuki Tsuda¹, Norifumi Fujimura² (1.ORIST, 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:energy harvesting, vibration energy harvester, piezoelectric MEMS

近年、IoT社会到来に向けて身近にある光、温度差、振動などから電気エネルギーに変換する環境発電が注目されている。我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子の研究開発を進めている。今までに非鉛圧電体であるBiFeO₃に着目し、優れた圧電体として知られるPb(Zr,Ti)O₃を用いた振動発電素子と同等以上の発電性能を実現している。今回、実環境に近いランダム振動を用いて特性評価を行ったので報告する。