[14p-A305-1~14] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[14p-A305-13] Development of high temperature platinum microheater

〇Yurina Amamoto¹, Shunsuke Akasaka¹, Isaku Kanno² (1.ROHM, 2.Kobe Univ.)

Keywords:gas sensor, microheater

高性能・低消費電力の小型酸素・湿度センサの実現に向け、薄膜 YSZ を用いた限界電 流式酸素・湿度センサの開発を進めている。この方式では、センサ駆動のために素子を 500℃以上に加熱する必要がある。本研究では、低消費電力で 500℃以上に昇温できる小型で安定な MEMS型マイクロヒーターを開発した。