[14p-A305-1~14] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [14p-A305-3] Conversion of Liquid Si to Solid State by Electron Beam Irradiation

〇Masahiro Mori¹, Masahiko Tomitori¹, Takashi Masuda¹ (1.JAIST)

Keywords:liquid silicon, electron beam

液体Siとは常温常圧で液体、360℃加熱で非晶質Si(a-Si)になる物質である。この材料は気体Si(シランガス)および固体Si(ウェハ)とは異なるアプローチからSi半導体の科学技術を切り拓くと期待されている。一方で高い加熱温度(360℃)を必要とすることが、その学術展開を制約してきた。本研究の目的は、電子線照射による非加熱での「液体Si→ a-Si」変換の実証である。