[14p-A401-1~4] New functional memory devices with oxide materials and their physics

[14p-A401-2] Functional Oxide Films and Their Process Technologies for Memory Devices

〇Yasutoshi Tsubota¹, Tsukasa Kamakura¹, Masaru Kadoshima¹, Hiroshi Ashihara¹, Jiro Yugami¹ (1.KOKUSAI ELECTRIC Corp.)

Keywords:Process Technologies

メモリデバイスには種々の機能性酸化膜が用いられており、メモリデバイスの進化と共にその機能性酸化膜を成膜するプロセス技術も進歩することが求められている。本公演では主に3D-NANDを例に取り、機能性酸化膜の課題とそのプロセス技術について紹介する。