[14p-A401-1~4] 機能性酸化物のメモリデバイス応用とその物理解明に向けて

[14p-A401-2] メモリデバイス向け機能性酸化膜とそのプロセス技術

〇坪田 康寿¹、鎌倉 司¹、門島 勝¹、芦原 洋司¹、由上 二郎¹ (1.(株)KOKUSAI ELECTRIC)

キーワード：プロセス技術

メモリデバイスには種々の機能性酸化膜が用いられており、メモリデバイスの進化と共にその機能性酸化膜を成膜するプロセス技術も進歩することが求められている。本公演では主に3D-NANDを例に取り、機能性酸化膜の課題とそのプロセス技術について紹介する。