[14p-B401-1~17] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [14p-B401-14] PDA雰囲気ガスがn-β-Ga₂O3/Al₂O₃/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響

〇(M1)廣瀬 雅史^1,2、生田目 俊秀²、前田 瑛里香^1,2、大井 暁彦²、池田 直樹²、色川 芳宏²、小出 康夫²、清野 肇¹ (1.芝浦工大、2.物材機構)

キーワード：酸化ガリウム、酸化アルミニウム、PDA