[14p-D305-1~8] EUV・軟X線イメージングの描く未来

[14p-D305-8] 実験室EUV顕微鏡の開発と高分子の無染色可視化への応用

〇豊田 光紀^1,2、桃野 幸文²、角館 俊行²、陳 軍¹ (1.東京工芸大工、2.東北大多元研)

キーワード：多層膜ミラー