10:45 AM - 11:00 AM
△ [15a-D221-2] Preparation of DLC Films by Supplying Carbon Source Gas to Center of Pulse Arc Plasma Jet
Keywords:Diamond-Like Carbon, Plasma jet
ダイヤモンドライクカーボン(Diamond-Like Carbon: DLC)膜は,優れた機械的特性を持ち,幅広く産業応用されている。しかし,一般的なDLC成膜法における成膜速度では,大量生産プロセスへの導入は難しく,DLC成膜プロセスの高速化が望まれている。本研究では,プラズマジェットの中心に,炭素源ガスを供給するガン構造を用いてDLC膜の作製を試みた。炭素源ガスを中心に配置することで,炭素源ガスの分解効率および利用効率の向上が期待できる。