[15a-D221-1~6] 6.2 Carbon-based thin films

[15a-D221-4] Observation of sliding mark on DLC film surface using X-ray photoemission electron microscopy

Sota Norizuki¹, Sarayut Tunmee², Chanan Euaruksakun², Ukit Rittihong², Tomidokoro Masashi¹, Ratchadaporn Supruangnet², Yuki Hirata¹, Naoto Ohtake¹, 〇Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Inst.of Tech., 2.SLRI)

Keywords:Diamond Like-carbon film, Sliding, X-ray photoemission electron microscopy

本研究は摺動によるDLC膜のsp² /sp³比の局所的構造変化を捉える為，NEXAFS測定の際，試料面から放出される光電子の強度分布を観測できるX線光電子顕微鏡(X-PEEM)を用いてDLC膜の摺動痕内のsp² /sp³比の分布の評価を試みた．その結果，摺動によりDLC膜中の炭素の均一な結合状態は，局所的に変化する事が示された．