[15a-D221-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-D221-4] X線光電子顕微鏡を用いたDLC膜の摺動痕の観察

法月 奏太¹、Tunmee Sarayut²、Euaruksakun Chanan²、Rittihong Ukit²、富所 優志¹、Supruangnet Ratchadaporn²、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹、〇赤坂 大樹¹ (1.東工大、2.SLRI)

キーワード：ダイヤモンド状炭素膜、摺動、X線光電子顕微鏡

本研究は摺動によるDLC膜のsp² /sp³比の局所的構造変化を捉える為，NEXAFS測定の際，試料面から放出される光電子の強度分布を観測できるX線光電子顕微鏡(X-PEEM)を用いてDLC膜の摺動痕内のsp² /sp³比の分布の評価を試みた．その結果，摺動によりDLC膜中の炭素の均一な結合状態は，局所的に変化する事が示された．