[15a-D311-1~12] 6.3 Oxide electronics

[15a-D311-5] Micro-patterning and transferring process for perovskite oxides by using deliquescent oxide

Shugo Kogure¹, Ayumu Hashimoto², Tomoaki Yoshimoto¹, Norio Tokuda³, Satoru Yamada², 〇Takeshi Kawae¹ (1.Kanazawa Univ., 2.NIT Ishikawa, 3.NanoMari. Kanazawa Univ.)

Keywords:deliquescent oxide, selective growth, transferring process

近年、多様なペロブスカイト酸化物に対し、格子整合性に優れる水溶性酸化物Sr₃Al₂O₆ （SAO）を利用した異種基板上へのペロブスカイト酸化物薄膜の転写技術に関する検討が報告されている。また、我々は潮解性酸化物であるアモルファスCaO（a-CaO）を犠牲層とする水リフトオフ（WLO）法により、Pb(Zr,Ti)O₃、SrRuO₃、b-Ga₂O₃などの多様な酸化物の選択エピ成長を実証してきた。
今回、SAOとa-CaOを複合した新しいWLO法を提案し、任意形状を有するペロブスカイト酸化物を異種基板上へと転写するプロセスを検証する。