[15a-D419-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [15a-D419-10] Simultaneous characterization of direct and inverse piezoelectricity using longitudinal vibration for self-poled (K_xNa_1-x)NbO₃ films prepared by hydrothermal method

〇(D)Akinori Tateyama¹, Yoshiharu Ito¹, Takao Shimizu¹, Yuichiro Orino¹, Minoru Kurosawa¹, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:Piezoelectric, Hydrothermal synthesis

圧電薄膜は電圧印加による逆圧電効果と応力印加による正圧電効果を用いてアクチュエータやセンサ・ハーベスタといった幅広いデバイスに応用されている。我々は短冊状に加工したKNN圧電薄膜の片端にセンサ用の電極を、もう一端に駆動用の電極を作製し、中央保持・両端自由の境界条件で駆動用電極に交流電圧を印加し縦振動共振させ、振動速度と出力される電流を検知し、正逆の圧電応答を同時に観測したので報告する。