2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-A201-1~15] 15.6 IV族系化合物（SiC）

2020年3月15日(日) 13:00 〜 17:00 A201 (6-201)

染谷 満(産総研)、野口 宗隆(三菱電機)

16:15 〜 16:30

[15p-A201-13] 超高温プロセスで作製した4H-SiC(0001) pMOSFETの高温特性とCMOS応用

Moges Kidist1、〇細井 卓治1、志村 考功1、渡部 平司1 (1.阪大院工)

キーワード：SiC、pMOSFET、CMOS