[15p-A302-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15p-A302-7] 高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレート上へのDUV-LED作製

〇上杉 謙次郎¹、手銭 雄太¹、正直 花奈子²、窪谷 茂幸¹、三宅 秀人^2,3 (1.三重大地域戦略、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：DUV、LED、AlN

スパッタ成膜と高温アニールで作製したAlNテンプレート上へDUV-LED構造を作製した。転位密度の異なるAlNテンプレートを用いて、DUV-LEDの発光特性と転位密度の関係を検討した。