[15p-A305-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-A305-1] パネル上a-Si薄膜の結晶化における課題(2)

〇野口 隆¹、岡田 竜弥¹ (1.琉球大学工学部)

キーワード：シリコン薄膜、レーザアニール、TFT